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产品系列
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产品介绍
产品介绍
PF-300T Altair 系列是我公司自主研发的热原子层沉积（Thermal Atomic Layer Deposition）设备 ，以高产能PEALD设备核心技术为基础 ，针对相应薄膜沉积的特殊性 ，对反应腔？榧肮丶考优化设计 ，实现成本更低 ，纯度更高的薄膜的沉积。
- 理想的热原子层沉积系统
- 更快速的脉冲及吹扫 ，实现更高的产能
- 精准的化学源剂量控制 ，实现工艺长期稳定性
- 独特的温控设计 ，实现更高纯度的薄膜
- 维护简便 ，易耗件生命周期长 ，清洗成本低
