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产品介绍
产品介绍
Dione?300/Dione?300?eX是拓？萍甲灾餮蟹⒌木г不旌霞虾腿廴诩仙璞。应用于存储器、逻辑芯片、背照式图像传感器芯片、三维集成芯片、Micro?LED的生产，该设备拥有等离子活化、清洗、键合和量测等单元，所有性能指标均已达到国际同类产品水平。
产品特点
- 12英寸/8英寸晶圆适配
- 室温等离子活化键合
- 超精密光学对准系统
- 可配置键合波自动控制系统
- 百纳米级键合后Overlay
- 无键合气泡
- 高精度在线量测能力
