j9国际站

产品介绍

产品介绍：PF-300T Bianca 系列是j9国际站自主研发的晶圆背部薄膜沉积设备（Backside Deposition）
？梢栽诰г脖趁娉粱齋iN、SiO 等介质薄膜材料
，通过应力调节实现对晶圆翘曲的纠正以及晶圆背面的
；
。该设备可以实现在不使用翻片工艺、不使用去边工艺的情况下对晶圆背面进行薄膜沉积
，减少集成电路制造的工艺步骤、提升产品良率、降低客户成本
。

产品特点
- 可兼容低温和高温工艺
，高温可达550℃
- 高应力调节范围实现精准晶圆翘曲曲率控制
- 具备应力分区调节功能
，可灵活调节不同晶圆翘曲形态
- 具有良好的颗粒度和均匀性
- 薄膜去边宽度可定制化
- 通过S2安全认证和F47标准检验