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产品介绍
产品介绍
Crux 300 设备是拓？萍甲灾餮蟹⒓暇攘坎馍璞，应用于混合键合领域，适配W2W和D2W键合精度量测场景，可实现混合键合后的套准精度量测，拥有高精度、高产能和无盲区量测三大特点 。设备所有性能指标均已达到国内同类产品水平 。
- 8英寸/12英寸晶圆适配
- 基于红外光透射式或反射式量测技术
- W2W和D2W混合键合场景兼容
- 小于3nm的超高量测精度和稳定性
- 最大300mm范围内无量测盲区
- 高吞吐量和低CoO
