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产品系列
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产品介绍
产品介绍
PF-300T Upsilon系列是我公司自主研发的UV cure设备，UV反应腔搭载在高产能的PECVD平台上，满足了对设备产能的需求。UV cure主要应用于LoK II和HTN的处理，让薄膜获得更好的性能。
产品特点
- 优异的生产成本(CoO)及性能指标
- 可搭载1-3个PM
- 通过S2安全认证和F47标准检验
